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发布时间：2021-07-18 17:38:21
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2020年5月28日，上海积塔半导体有限公司与盛美半导体设备（上海）股份有限公司正式到达战略协作，签约典礼在坐落临港新片区的积塔半导体公司临港工厂举行，由积塔半导体首席执行官洪沨博士与盛美半导体董事长王晖博士作为两边代表进行签约。两边本着“平等互利、优势互补、共同发展、诚笃守信”的准则，正式签约构建全面深化的战略协作伙伴关系，两边将发挥各自优势，加快我国集成电路配备国产化进程，在半导体设备及其相关工艺方面进行深化协作。积塔半导体首席执行官洪沨博士表明：很快乐能与盛美半导体到达战略协作，支撑国产设备、资料，
盛美半导体设备公司，作为世界抢先的半导体和晶圆级封装设备供货商，近来发布公司新产品：适用于晶圆级先进封装运用(Wafer Level Advance Package)的无应力抛光(Stree-Free-Polish)处理方案。先进封装级无应力抛光（Ultra SFP ap）规划用于处理先进封装中，硅通孔（TSV）和扇出(FOWLP)运用金属平整化工艺中表层铜层过厚引起晶圆翘曲的问题。
日前， 全球抢先的晶圆湿法清洗设备供货商盛美半导体设备（上海）股份有限公司宣告，盛美半导体上海临港研制及出产中心项目正式发动。
记者从近来举行的合肥经开区出资环境推介会上了解到，很多来自国外的客商看好安徽工业引擎的区域发展前景，确认或有志愿前来合肥出资。“合肥是中部新式的城市，经开区是安徽工业强区”，美国空气产品公司副总裁冯燕泄漏，该公司现已确认在合肥经开区出资5000~6000万美元兴修工厂，开始是为落户于空港经济示范区的长鑫集团供给工业气体。据了解，该公司是全球工业气体出产巨子，全球化工行业50强之一。而长鑫集团项目是我省最大的集成电路工业项目，将快速带动芯片规划、封装测验等上下流配套企业集聚落户，
盛美半导体设备(上海)有限公司日前宣告第一台Ultra C 12英寸单片兆声波清洗设备现已销售给韩国存储器制作巨子。选用盛美的空间交变相移兆声波技能(SAPS)，Ultra C无需用高浓度的化学药液，而是选用极低浓度的功用水即可完成优胜的颗粒去除率(PRE)，而且使资料的丢失降到最低。该设备将用于客户最先进器材的制作工艺上。 Ultra C定坐落高端的清洗工艺。经过客户端大出产线验证，Ultra C清洗后的PRE在65nm及以上颗粒到达96%，在44nm至65nm颗粒之间PRE到达74%，单道清
盛美半导体设备(上海)有限公司，日前推出最新的半导体制作设备——无应力抛光集成设备(the Ultra SFP)。该设备能够对65nm及以下的铜互联结构进行无应力、无损害抛光。该设备整合了无应力抛光技能(SFP)、热气相蚀刻技能 (TFE)以及低下压力化学机械平整化技能(ULDCMP)，运用其各自共同的技能长处，保证在整个抛光过程中对铜互连结构无任何损害。 运用无应力抛光设备制作以二氧化硅(SiO2)为基体的空气穴互连结构有许多长处。其工艺简略，能够运用传统的二氧化硅介电
发达国家在芯片出产设备研制制作范畴的世界独占有望在近期被中国企业打破。记者昨日从盛美半导体设备(上海)有限公司落户张江庆典典礼上得悉，这家由海归人员创建的企业现已把握了未来芯片出产所需的新一代出产技能，运用该技能的样机已被Intel和美国LSI Logic公司收购。
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