安博电竞中国官方网站下载地址股市360]东京电子推新式半导体清洗机 可防芯片结构遭损坏
发布时间：2021-06-29 15:17:06
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摘要 【东京电子推新式半导体清洗机 可防芯片结构遭损坏】日媒称，日本大型半导体制作设备厂商东京电子宣告，将于2021年1月出售清洗机“CELLESTA SCD”，该产品带枯燥功用，可进步最顶级半导体的成品率。经过添加运用“超临界流体”(根本没有表面张力)的枯燥工序，避免半导体上的微细结构被损坏。这款清洗机将用于“微细化”和“多层化”的最顶级半导体制作，“微细化”是缩小电路线宽，“多层化”是在高度方向上层叠电路。（新华社）
日媒称，日本大型半导体制作设备厂商东京电子宣告，将于2021年1月出售清洗机“CELLESTA SCD”，该产品带枯燥功用，可进步最顶级半导体的成品率。经过添加运用“超临界流体”(根本没有表面张力)的枯燥工序，避免半导体上的微细结构被损坏。这款清洗机将用于“微细化”和“多层化”的最顶级半导体制作，“微细化”是缩小电路线宽，“多层化”是在高度方向上层叠电路。
据《日本经济新闻》网站12月18日报导，新产品在东京电子的枚叶式清洗机CELLESTA系列中装备了超临界枯燥专用反响室，将用于制作结构不断微细化、复杂化的逻辑半导体及个人电脑等运用的半导体存储器DRAM。
报导称，经过运用超临界流体，能够下降枯燥时微细图画结构被液体表面张力损坏的危险。新产品在枯燥工序中以超临界流体替代酒精作为清洗液。
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