安博电竞中国官方网站下载地址盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技
发布时间：2021-06-29 15:16:45
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作者：安博电竞注册
【TechWeb】6月16日音讯，2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入典礼在新傲工厂举办，盛美半导体设备（上海）股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技。
据国家智能传感器立异中心担任人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特征工艺研制中试渠道超越80%的设备均选用国产设备，为国产配备供给验证渠道，加快传感器产业链国产化，完成自主可控。
王晖先生在致辞时说：“可以取得和芯物科技一同生长的时机，我代表盛美向芯物科技表明诚心的感谢！在这个充溢时机与应战的年代，等待未来和芯物科技一同，开发一些全球抢先的差异化特征工艺和设备，把我国的MEMS做到国际前列！”
盛美本次进驻芯物科技的设备为前道冲洗设备，该设备选用单片腔体对晶圆正反面依工序清洗，可进行包含晶圆反面冲洗、晶圆边际冲洗、正反面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方法灵敏可选，且可用于芯片制作的中前段至后段各道冲洗工艺。
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