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安博电竞中国官方网站下载地址半导体设备国产化进行时:上海精测两设备出货中芯世界

发布时间:2021-07-31 20:24:35 来源:安博体育登录入口 作者:安博电竞注册

  7月13日,上海精测半导体技能有限公司(下称“上海精测”)经过微信大众号宣告,国内首台12寸独立式光学线宽丈量设备(OCD)与国内仅有12寸全自动电子束晶圆缺点复查设备(ReviewSEM)顺畅出机。

  上海精测母公司精测电子(300567.SZ)同日发表的调研纪要显现,上述两台半导体设备的客户为中芯世界。“设备是现已能够投入使用了”,精测电子内部人士今天对《科创板日报》记者表明。

  据了解,OCD设备除具有全自动光学膜厚丈量才能外,还能够进行显影后查看(ADI)、刻蚀后查看(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁视点(SWA)、高度/深度等要害尺度(CD)特征或全体描摹丈量,具有高速、精确和非破坏性等特色,是半导体前道检测的要害设备之一。

  精测电子副总经理、上海精测总经理马骏在出机典礼上介绍,OCD量测设备的商场一向为美资公司独占,上海精测本次出货机台名称为300FDProfile,是该类型机台的国内首台,首要应用于55nm及以下的快速线宽丈量。

  而ReviewSEM则是上海精测的另一重要设备产品,该设备的交给也使得公司成为现在全球成功开发该设备的仅有非美系厂商。

  据媒体报道,上海精测此次交给的两台前道量测检测设备,该设备从零部件到整机规划制作,均具有彻底自主知识产权。中芯世界(北京)良率提高工程部总监翟冬梅对此表明,“填补了国内半导体工业链在该范畴的空白”。

  上海精测成立于2018年,首要聚集半导体前道检测设备范畴,公司现已构成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。

  在客户导入方面,上述调研纪要泄漏,现在,上海精测膜厚产品(含独立式膜厚设备)已获得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已获得订单并已完结交给,半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺点复查设备已正式交给国内客户。其他储藏的产品现在正处于研制、认证以及拓宽的过程中。

  “公司之前也发表过有哪些客户,比方有长江存储、广州粤芯等,部分产品现已出货了”,精测电子内部人士讲到。

  因为半导体设备研制投入大,一起产品验证周期长,上海精测2020年完结营收5674万元,但亏本9688万元。

  天眼查显现,精测电子持有上海精测40%股权,别的精测电子的孙公司上海精圆办理咨询合伙企业(有限合伙)持有上海精测13.3%的股权。国家大基金持有13.33%的股权,上海半导体配备资料工业出资基金合伙企业持有6.67%的股权,后者的股权结构中,国家大基金和国产半导体离子注入机厂商万业企业各持股近20%。

  此外,为进一步推进上海精测开展,扩展生产才能,以满意下流需求,精测电子于本年4月完结定增,共募资14.93亿元,其间拟投入7.4亿元的征集资金用于上海精测研制及工业化建设项目。

  关于精测电子而言,公司除了在半导体检测前道范畴布局外,其一起也在后道全范畴的布局,包含与韩国IT&T合资建立的武汉精鸿首要聚集自动检测设备(ATE)范畴(首要产品是存储芯片测验设备)、别的公司的子公司WINTEST以及其在武汉的全资子公司伟恩测验现阶段首要聚集驱动芯片测验设备范畴。

  精测电子在调研纪要中称,公司估计2021年在半导体的部分产品线完结扭亏,但全体半导体事务完结盈余仍需求更多时刻和尽力。

  “公司半导体事务现已构成独立的事务板块,但其对营收和成绩的奉献仍是没有面板事务奉献大,公司这两年的战略规划也是期望半导体板块赶快扭亏为盈,使其构成对成绩的奉献”,公司内部人士进一步向记者表明。


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