出资界得悉，今天（7 月 29 日）华卓精科科技股份有限公司（以下简称 华卓精科 ）首发上会，而最新成果出炉——暂缓审议。上市委现场问询要求发行人代表阐明光刻机双工件台事务工业化远景；进一步阐明发行人技能研制是否对清华大学构成严重依靠，发行人是否具有持续的自主研制才能。
华卓精科的掌舵者，是一位 60 后清华教授——朱煜。1979 年，14 岁的朱煜考上了北京师范大学，18 岁在我国矿业大学担任讲师。2001 年，朱煜到清华大学进修博士后，开端了有关光刻机的研讨作业。随后十余年间，他一边在清华任教，一边带领着团队一纳米一纳米地霸占技能难关，期间屡次面对经费紧张的囧境。2012 年，朱煜带着团队走出象牙塔，建立了华卓精科。
9 年磨一剑。现在华卓精科出产的光刻机双工件台，打破了荷兰 ASML 公司在光刻机工件台上的技能独占，成为世界唯二把握双工件台中心技能的公司。站在背面的出资方，也具有稠密的清华颜色——种子轮出资方且最大组织股东水木创投是清华大学下设的工业化出资办理渠道。
光刻机向来被誉为 半导体皇冠上的明珠 ，乃至圈内撒播一则感叹：光刻机比还难造。现在国产光刻机仍处于被 卡脖子 的状况，所有人都在期待着一个里程碑式的打破。
上世纪 70 时代，1965 年出世的朱煜乘着高考康复的春风，成功考入了北京师范大学。大学毕业后，他便进入我国矿业大学担任讲师。尔后一段时刻，他在预备日常教育使命的一起，还在我国矿业大学拿到了硕士和博士学位。
随后，朱煜和团队开端了光刻机的研制。2002 年，他们取得榜首项双工件台专利；2004 年，他参加清华大学精仪系，任职副教授。同年，他们团队研制出了 10 纳米同步精度的超精细运动渠道。
但困难很快呈现了：2004 年到 2008 年，团队缺少研讨经费，研讨几度堕入中止。期间，朱煜为了确保研制项目持续研制，做了多方测验。
2006 年，集成电路配备正式被列入国家 16 个科技严重专项，因为被列在第二个，业界称之为 02 专项 。其时，朱煜和他的团队积极参加到国家举行的 02 专项 光刻机项目。怎么办，该项目落地施行耗时很长，科研经费不能马上到账。所以，朱煜曾向清华大学告贷 700 万，以确保研制作业的持续。
三年后，02 专项 正式施行落地，拿到科研经费的他们便全身心投入到双工件台的研制作业中。到了 2012 年，在清华大学的支持下，朱煜等 8 位清华大学 IC 制作配备研讨室中心成员走出实验室，创办了华卓有限，即华卓精科的前身。
创业之初，技能研制仍是朱煜团队的头等大事。那段时刻，开创团队的主力成员轮番上阵，实验室中昼夜无休。总算在 2016 年，华卓精科研制成功两套 α 样机，并成为光刻机项目群中首个经过 02 专项检验的项目。华卓精科成为国内首家可自主研制并完结商业化出产的光刻机双工件台供货商。
2018 年，朱煜曾揭露表明，华卓精科出产的双工件台打破 ASML 在工件台上的技能独占。华卓精科是世界上第二家把握双工件台中心技能的公司，更是全球仅有一家可以独自供给工件台的公司。
建立 9 年的时刻里，华卓精科曾登陆过新三板，直到 2019 年 2 月停止。2020 年 6 月 24 日，上交所科创板正式受理了华卓精科的上市请求，并于今天（7 月 29 日）到科创板 IPO 上会，承受上市委的审议。
最新消息，科创板上市委员会给了暂缓审议定见：请发行人结合光刻机双工件台事务没有完结工业化的状况，阐明发行人申报期内的首要事务是否契合科创板定位和发行上市条件，光刻机双工件台事务及 02 专项相关信息宣布是否契合国家法律法规规则和科创板发行上市信息宣布要求。请保荐人和其他中介组织宣布清晰定见。
官网显现，华卓精科主营事务为集成电路制作配备及要害零部件的研制和工业化。现在产品包含光刻机双工件台及其衍出产品超精细运动渠道、激光退火设备、晶圆键合设备等整机设备及半导体要害零部件，首要应用于集成电路芯片制作、先进封装、功率器材制作等产线。总而言之，华卓精科的产品是光刻机所需的要害零部件。
在芯片制作中，光刻机是技能难度最高、最要害的设备之一。一颗芯片上布满了数以十亿记的晶体管与电路，而光刻机想要在方寸巨细的芯片上刻出每一条线路、每一个晶体管的方位，需求投影物镜和光源和工件台体系及运动操控技能的合作，其间工件台本钱占到整个光刻机本钱的 10%-20%。
值得注意的是，华卓精科营收的首要来历并不是 工件台 ，而是精细运动体系。精细运动体系更是是一个动力配备，首要功能协助零部件完结精细运动或定位。数据显现，2018 年 -2020 年，该公司精细运动体系及技能开发事务收入别离为 6526.26 万元、7997.78 万元和 9655.11 万元，占同期主营事务收入的比例别离为 76.14%、66.12% 和 63.47%。
在精细运动体系范畴，华卓精科的产品进入了中科飞测、中山新诺、长光华大等各个范畴龙头企业的供给链，一起为中科大、南京大学、暨南大学等多所高校和科研组织供给产品和技能服务。
而光刻机双工件台、晶圆级键合设备、激光退火设备等其他产品还处于商业化初期，规划化产品销售。其间，光刻机双工件台的客户极为单一。现在国内客户仅有上海微电子有该类产品收购需求。现阶段，华卓精科 DWS 系列光刻机双工件累计发货 4 台，仍处于小批量定制出产阶段，没有完结规划化量产。一起，其晶圆级键合设备、激光退火设备等产品还与上海微电子存在竞赛。
据出资界不彻底统计，华卓精科建立至今已取得超 10 轮融资，其间在公司挂牌新三板期间，共施行了 5 次定向增发，算计定增募资总额约为 1.42 亿元。背面的出资阵型包含了水木创投、中金公司、大华大陆出资、浑璞出资、红星美凯龙、国家集成电路工业出资基金 ( 下称 国家大基金 ) 等一线组织的身影。
回忆融资进程，华卓精科的启动资金恰恰来自于 自己人 。天眼查 APP 显现，2012 年 9 月，华卓精科完结了种子轮融资，出资方为水木创投。这家 VC 是清华工业开发研讨院旗下建立的科技成果工业化出资办理渠道，其间心理念便是以商场需求为导向，整合清华大学的智力、政府和商场资源，专心清华科技成果工业化实践和展望。值得一提的是，水木创投办理合伙人吴勇，一起担任华卓精科董事长一职。
2015 年 5 月，华卓精科完结了 500 万元 A 轮融资，出资方为中海出资与中关村海淀园创业服务中心。资料显现，两家组织均由中关村科技园区海淀园管委会建议建立。两年后，以国中本钱为代表的国家队进场。
随后在 2018 年 10 月，华卓精科又取得了一轮 8700 万元的战略融资，引入了中金公司、红星美凯龙、浑璞出资作为股东。同年 11 月，红星美凯龙及浑璞出资又参加了华卓精科的价值 7587.50 万元的定向增发。连续完结的这两笔融资，为接下来华卓精科新三板退市，冲刺科创板 IPO 奠定了根底。
紧接着，国家大基金也出手了。先是在 2019 年 1 月，国家大基金为 LP 之一的上海配备资料基金，参加了华卓精科的新一轮定向增发；同年 3 月，国家大基金联手祥晖本钱、中丽基金共同完结了对华卓精科的 B 轮融资。
招股书显现，IPO 后，华卓精科开创人朱煜持股 26.79% 为榜首大股东；水木创投为最大组织股东，总计持股 11.65%；浑璞出资与中金公司别离持股 4.43%、2.30%，位列组织股东第二、三位。
诞生于清华园内的华卓精科，可谓是清华系半导体创业者的一缕缩影。在这座百年学府，已走出国内半导体工业的很多重要人物。
1977 年，陈大同进入清华大学无线电电子学系学习，是同届仅有一名学习半导体专业的学生。抱着从国外学习先进技能，回国复兴半导体集成电路工业的希望，当年陈大相等一群人远赴海外深度研讨。
2000 年回国后，陈大同发现我国半导体集成电路工业简直退回了初始状况，便携手清华同盟武相等联合创办了展讯通讯，决计经过创业推进我国半导体集成电路工业完结 凤凰涅槃 。在这一列队中还有中芯世界董事长赵水兵、华多半导体总经理童浩然等。
多年后，一个极富传奇颜色的班级诞生了—— EE85 班，一众芯片大佬从这儿走出。本年年初，EE85 班的韦尔股份开创人虞仁荣捐资在家乡宁波创办了一所理工类新式研讨型大学。这一隐秘而巨大的班级团体里，还有赵伟国、兆易立异开创人之一舒清明、卓胜微电子联合开创人冯晨晖、格科微电子开创人赵立新、燧原科技开创人赵立东等闻名芯片企业家的身影。这群清华学子，简直撑起了我国半导体的半壁河山。
光刻机被誉为 半导体皇冠上的明珠 ，是半导体工业中最要害设备。光刻工艺决议了半导体线路的线宽，一起也决议了芯片的功能和功耗。可以说，光刻机赋予了芯片 生命 。正因如此，在当时 缺芯危机 的影响下，国内涵高端芯片出产制作环节的短板被再度扩大。
中心原因在于，光刻机是横跨多个学科、工业的最尖端理论、技能与工艺的产品。一台光刻机由十万多个部件组成，集数学、化学、精细光学、流体力学、精细机械、自动化操控、软件工程、图像识别、电子电路等范畴的顶尖技能于一身。一旦其间一项技能呈现瓶颈，光刻机就无法问世。
纵观全球光刻机商场，荷兰公司 ASML 是名副其实的霸主。2020 年，ASML 占有全球 EUV 光刻机出货的 100%，占全球 DUV 光刻机出货的 62%，剩余的比例由尼康和佳能分割。但即使是一家独大的 ASML，也无法独立制作光刻机，90% 的零件都由其它厂商供给。例如，光源技能是美国的、光学设备是日本的、轴承是瑞典的、阀件是法国的、机械工艺和蔡司镜头是德国的。
世界环境形成的影响相同不行忽视。依据瓦圣纳协议，ASML 出口 EUV 光刻机到我国，需求取得荷兰政府的出口答应。这也导致国内半导体龙头中芯世界于三年前，斥资 1.2 亿美元向 ASML 订货的一台 EUV 光刻机，至今迟迟无法得到交给。
建立于 2002 年的上海微电子配备集团，正在全力追逐 ASML。资料显现，上海微电子具有 3200 项直接持有专利和专利请求，彻底把握了先进封装光刻机、高亮度 LED 光刻机等技能。本年 7 月 20 日，由上海微电子交给的首台国产封装光刻机，正式入驻青岛新芯科技工厂，年产能可到达 36 万片晶圆，而工艺制程最高可达 65nm。与此一起，估计在本年底，上海微电子将正式交给首台 28nm 工艺制程国产光刻机，完结 28nm 工艺芯片纯国产化，并在下一年打破 14nm 工艺芯片纯国产化。
与此一起，VC/PE 们纷繁都在举动。早在 2019 年 10 月，第二期国家集成电路工业出资基金注册建立，规划超越 2000 亿元。与大基金一期出资规模不同的是，大基金二期将要点出资半导体设备及资料，包含光刻机、蚀刻机、大硅片、光刻胶等等。不久前，国产光刻胶公司南大光电前取得大基金二期 1.83 亿元出资，该公司研制的新一代 ArF 光刻胶也有望用于 14/7nm 工艺。
华为也出手了。本年 6 月，华为旗下哈勃出资入股了北京科益虹源公司，占股 4.76%，为第七大股东。值得重视的是，北京科益虹源由中科院微电子所控股，是一家光刻机中心零部件公司，首要产品为 DUV（深紫外）光刻光源产品系列，国内首台高能准分子激光器就出自其手。
这将是一场绵长的征程。正如元禾璞华办理合伙人陈大同所言，像半导体这种硬科技项目需求支付时刻去研制，不能盼望一两年短时刻的迸发，即使上市最快也需求五年左右，因而所有人都应该抱着 十年磨一剑 的心态去参加。
